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P31 俯仰/ 偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)可提供光束偏轉(zhuǎn)角度達(dá)50mrad，這種偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)是基于成熟的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，兩個(gè)運(yùn)動(dòng)軸為垂直共面軸且具有共同的固定點(diǎn)，具有高分辨率及高定位精度等特點(diǎn)。

特點(diǎn)

· θx, θy 二維偏轉(zhuǎn)

· 大偏轉(zhuǎn)范圍25mrad

· 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

· 閉環(huán)定位精度高

· 溫度穩(wěn)定性高

高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動(dòng)態(tài)性

P31 系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動(dòng)器，被集成在成熟的、經(jīng)過FEA 建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動(dòng)器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。

壓電促動(dòng)器、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及傳感器是免維護(hù)的，不易損壞且提供超高的可靠性。

先進(jìn)的鉸鏈/ 杠桿設(shè)計(jì)將慣性小化，允許25mrad 的大角度俯仰/ 偏轉(zhuǎn)范圍（可將光束偏轉(zhuǎn)50mrad），且具有非?？斓捻憫?yīng)速度，在毫秒級(jí)范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動(dòng)態(tài)，P31 還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器（SGS）實(shí)現(xiàn)了的位置控制，具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度，通常為滿行程的0.2%。

驅(qū)動(dòng)原理

壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運(yùn)動(dòng)）是基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)（壓電促動(dòng)器）以90°角平分放置，成對(duì)的差分控制分布。兩對(duì)差分驅(qū)動(dòng)壓電促動(dòng)器在較大溫度范圍內(nèi)提供可實(shí)現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運(yùn)動(dòng)是由兩對(duì)壓電促動(dòng)器以推拉模式來實(shí)現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。

頻率負(fù)載曲線

閉環(huán)定位精度

偏轉(zhuǎn)角度測量

激光準(zhǔn)直儀測量P31.T25S 壓電偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)行程范圍。

帶載階躍時(shí)間

P31.T25S 壓電偏轉(zhuǎn)鏡帶載60g 負(fù)載，達(dá)到滿行程偏轉(zhuǎn)角度的階躍時(shí)間約100ms。

閉環(huán)曲線