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P83.X一維X向壓電宏微復(fù)合臺(tái) $nP83為標(biāo)準(zhǔn)測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合,通過手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的移動(dòng),再通過控制驅(qū)動(dòng)電壓,使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置,從而實(shí)現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。《查看更多》
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