壓電物鏡定位器結(jié)合二維壓電掃描臺(tái)用于光學(xué)顯微成像
光學(xué)顯微成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光,通過一個(gè)或多個(gè)透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動(dòng)物鏡頭做Z向超精密運(yùn)動(dòng),XY二維壓電掃描臺(tái)帶動(dòng)樣品實(shí)現(xiàn)高精度的二維平臺(tái)位移運(yùn)動(dòng),可使觀測(cè)精度達(dá)納米級(jí)。
光學(xué)顯微成像原理
壓電物鏡定位器
壓電物鏡定位器
芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的Z軸運(yùn)動(dòng)壓電物鏡定位器,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),無摩擦,物鏡補(bǔ)償量小,具有超高聚焦穩(wěn)定性。聚焦范圍可達(dá) 500μm,負(fù)載可達(dá)500g。分立式螺紋設(shè)計(jì),可適配多種型號(hào)的物鏡,也可選擇螺紋牙轉(zhuǎn)接器進(jìn)行轉(zhuǎn)接。物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度。
壓電掃描臺(tái)
芯明天二維壓電掃描臺(tái)具有中心通孔,采用直驅(qū)或機(jī)構(gòu)放大原理,柔性鉸鏈支撐傳動(dòng),內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),掃描范圍可達(dá)375μm,分辨率可達(dá)0.1nm,多種通孔尺寸可選。主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微系統(tǒng)成像等。
驅(qū)動(dòng)控制
壓電物鏡定位器結(jié)合二維壓電掃描臺(tái)可選配三通道壓電控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制,可根據(jù)開閉環(huán)、階躍時(shí)間等參數(shù)要求選擇不同型號(hào)的控制器。
芯明天E01.D3與E70.D4S壓電控制器
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