電容閉環(huán)快速刀具微納米壓電定位系統(tǒng)!
基于快速刀具伺服FTS系統(tǒng)的單點車削是加工光學自由曲面的重要方法之一,而傳統(tǒng)的直線刀具伺服的工作頻率很低,并且限制了加工的面形的復雜度和加工效率。工業(yè)的快速發(fā)展要求非常高的加工精度、復雜度及效率,目前比較成熟的FTS技術之一為PZT壓電促動直線伺服系統(tǒng),可實現(xiàn)微米級位移、納米級精度及毫秒級高頻響應。
為解決部分快刀加工問題,芯明天專門設計研發(fā)了P93系列快速刀具定位臺及控制系統(tǒng),它采用PZT壓電陶瓷驅(qū)動,并使用電容式閉環(huán)傳感器,具有非常高的定位精度,可達幾納米。
P93系列快速刀具定位臺及E01.D1壓電控制器
該壓電快速刀具定位系統(tǒng)的控制原理是通過模擬或數(shù)字控制輸入信號,控制E01.D1壓電控制器輸出控制電壓,施加到P93快速刀具定位臺,再由定位臺內(nèi)部的電容傳感器實時檢測定位臺的運動位移,將電容傳感信號反饋到E01.D1的電容傳感模塊,再經(jīng)過E01.D1的伺服傳感模塊進行信號處理,再對輸出電壓進行調(diào)節(jié),該閉環(huán)控制的響應時間在幾毫秒至十幾毫秒間。
技術參數(shù)
快速刀具定位臺型號:P93.X70C
標稱行程范圍:65μm@120V
行程范圍:81μm@150V
傳感器:CAP
閉/開環(huán)分辨率:7/3nm
閉環(huán)線性度:0.05%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.03%F.S.
俯仰/偏航/滾動:<15μrad
推/拉力:400/50nm
運動方向剛度:5N/μm
空載諧振頻率:0.15kHz
閉/開環(huán)空載階躍時間:10/7ms
閉環(huán)空載工作頻率:50Hz@10%行程
閉環(huán)空載工作頻率:100Hz@行程
承載能力:20kg
靜電容量:15μF
材質(zhì):鋼
重量:4kg
工作溫度:10~50℃
壓電控制器型號:E01.D1C
通道數(shù):單通道
輸出電壓:0~120V/150V
帶寬:10kHz
傳感輸出電壓:0~10V
自發(fā)波形:正弦/方/三角/鋸齒波
液晶鍵盤控制
上位機軟件控制
VC++,Matlab,Labview等
RS-232、RS-422、USB通信接口
支持二次開發(fā)
尺寸圖
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