P77.D9壓電式移相器
P77系列壓電移相器是專為光學(xué)檢測移相應(yīng)用而設(shè)計,行程范圍可達(dá) 50µm,負(fù)載能力可高達(dá)10kg。P77.D9為P77系列中的一款,它的中心通孔為φ140mm,移相行程可達(dá)32μm,分辨率達(dá)0.5nm,適用于各種光學(xué)鏡片、鏡頭等測量的臥式激光干涉儀,臥式承載達(dá)5kg。
芯明天壓電移相器以定制設(shè)計為主,依據(jù)客戶的設(shè)備應(yīng)用,量身定制。
特點
• 行程范圍:0~16/32μm
• 通孔直徑:Φ140mm
• 臥式承載:5kg
• 可定制
應(yīng)用
• 顯微成像
• 表面檢測
• 移相/干涉/計量
• 精密定位
• 移相器
• 光學(xué)捕獲
10V步進(jìn)電壓與位移曲線
應(yīng)用示圖
P77.D9壓電移相器是專為臥式激光干涉儀而設(shè)計,帶載大口徑鏡架等,亞納米級步進(jìn)移相,為光學(xué)檢測設(shè)備提供高精密的核心組件,顯著提高光學(xué)檢測的精度。
技術(shù)參數(shù)
運動自由度:Z軸
標(biāo)稱行程范圍(0~120V):12.8或25.6μm
行程范圍(0~150V):16或32μm
通孔尺寸:φ140mm
外形尺寸:210×210×56mm
分辨率:0.5nm
俯仰/偏航/滾動:<15μm
空載諧振頻率:200Hz
臥式承載能力:5kg
靜電容量:14.4或28.8μF
材質(zhì):鋼、鋁
重量:4.2kg
工作溫度范圍:-20~80℃
控制:1或2路控制
連接器:LEMO
出線長:1.5m
芯明天其他壓電移相器
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