壓電陶瓷致動(dòng)器的直線運(yùn)動(dòng)應(yīng)用
壓電陶瓷致動(dòng)器做為相關(guān)應(yīng)用技術(shù)時(shí),通常要求運(yùn)動(dòng)幾納米或更高的分辨率,亞毫米或微米級(jí)行程范圍的應(yīng)用在線性運(yùn)動(dòng)中并不少見(jiàn)。為了說(shuō)明這一點(diǎn),下面是一些行業(yè)和應(yīng)用的例子,在這些行業(yè)和應(yīng)用中,壓電陶瓷致動(dòng)器通常是優(yōu)秀解決方案。
微升和納升分配
當(dāng)需要分配微升或納升體積時(shí),它需要精確的運(yùn)動(dòng)來(lái)控制分配,由壓電陶瓷致動(dòng)器促動(dòng)隔膜泵或閥門(mén)是一種常見(jiàn)的解決方案。通過(guò)給壓電陶瓷施加電壓,改變其位移的大小和速率,從而達(dá)到微升或納升分配的目的。壓電致動(dòng)器的位移決定分配體積,致動(dòng)器的工作頻率控制流量,壓電陶瓷致動(dòng)器具有分辨率高、體積小易于集成、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。
微定位和納米定位
在顯微鏡、診斷和高精度制造應(yīng)用中,通常需要納米級(jí)的分辨率。例如,導(dǎo)光板加工需要將加工刀頭定位在距離工件只有幾微米的距離,在高頻率和亞納米分辨率的范圍內(nèi)進(jìn)行加工運(yùn)動(dòng)。壓電陶瓷致動(dòng)器是為數(shù)不多的能夠滿足這些要求的運(yùn)動(dòng)裝置之一,其高諧振頻率為控制回路提供了穩(wěn)定性。
減震抑振
壓電堆疊致動(dòng)器可以輸出幾千牛頓的力,可以用于精密工作臺(tái)或其他振動(dòng)敏感設(shè)備的主動(dòng)減振,使其成為理想的減振裝置。例如,可以在機(jī)床中集成壓電陶瓷致動(dòng)器,以在機(jī)床的控制回路中產(chǎn)生反向運(yùn)動(dòng),減輕振動(dòng),從而提高加工精度和工件質(zhì)量。
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