N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡
特點
•θx、θy二維偏轉(zhuǎn) •大角度偏轉(zhuǎn)達50mrad •閉環(huán)分辨率達2μrad •可選配閉環(huán)傳感器
結(jié)構(gòu)簡介
N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡(兩軸運動)是基于平行運動學(xué)設(shè)計,具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(gòu)(PZT壓電陶瓷驅(qū)動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn),采用橋式連接電路控制。
高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性
N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在經(jīng)過FEA建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。
壓電促動器、導(dǎo)向機構(gòu)及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。
先進的鉸鏈/杠桿設(shè)計將慣性小化,允許50mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍(可將光束偏轉(zhuǎn) 100mrad),且具有非常快的響應(yīng)速度,在毫秒級范圍。
除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動態(tài),N35還提供了微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器(SGS)實現(xiàn)了精確的位置控制,具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度,通常為滿行程的0.02%。
N35壓電偏轉(zhuǎn)鏡角度測量
技術(shù)參數(shù)
型號:N35.T40S/K
運動自由度:θxθy
偏轉(zhuǎn)角度@120V:40mrad(≈8250秒)
偏轉(zhuǎn)角度@150V:50mrad(≈10300秒)
傳感器類型:SGS/-
閉/開環(huán)分辨率:2/1 µrad
閉環(huán)線性度:0.05%F.S.
閉環(huán)重復(fù)度:0.02%F.S.
空載諧振頻率:1300Hz
帶載諧振頻率(12.7mm×3mm鏡片):1050Hz
閉/開環(huán)階躍時間:1.4/1ms
靜電容量:14.5μF
材質(zhì):鈦合金
重量:223g
推薦控制器 - E70.D3S壓電控制器
E70.D3S壓電控制器為小體積壓電控制器,具有3個輸出通道,可含一路恒壓輸出,非常適于驅(qū)動N35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡。
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