P73.Z200大行程壓電物鏡定位器
典型應用
• 三維成像
• 干涉/計量
• 表面結構分析
• 共焦顯微
高穩(wěn)定性、長使用壽命
P73.Z200壓電物鏡定位器體積小巧、結構緊湊、性價比高,可以與市面上很多規(guī)格型號的顯微物鏡配套。物鏡定位器內置高可靠性壓電陶瓷,與優(yōu)異的機械結構相結合,具有穩(wěn)定性好、使用壽命長等優(yōu)點。
應用分析實例
技術參數(shù)
型號:P73.Z200
運動自由度:Z
行程范圍(0~120V):160μm
行程范圍(0~150V):200μm
閉環(huán)傳感器類型:SGS
閉/開環(huán)分辨率:11/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:80/10N
運動方向剛度:0.25N/μm
空載諧振頻率:210Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間:20/10ms
承載能力:0.2kg
靜電容量:7.2μF
材質:鋼、鋁
重量:360g
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