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P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡用于高頻激光加工

更新時(shí)間: 2020-12-21

在涉及到微米級(jí)小孔的超快激光加工應(yīng)用中集成壓電偏轉(zhuǎn)鏡,具有加工精度高、加工速度快等特點(diǎn)。已廣泛應(yīng)用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領(lǐng)域。

 

P33.T8S系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)平臺(tái),提供頂端面的高精度角度運(yùn)動(dòng),與其他執(zhí)行器相比,柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供更高的加速度,使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍。P33.T8S在10mrad滿行程工作頻率達(dá)50Hz,連續(xù)工作15天。

特點(diǎn)

• 二維θx、θy 偏轉(zhuǎn)

 偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)12.5mrad

 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

 

高動(dòng)態(tài) 閉環(huán)精度高

在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用應(yīng)變傳感器來得到高穩(wěn)定性及定位精度,他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號(hào),傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)P33.T8S

運(yùn)動(dòng)自由度θx、θy

行程范圍(0~120V)10mrad(≈2060)/±5mrad(≈±1030)

行程范圍(0~150V)12.5mrad(≈2500)/±6.25mrad(≈±1250)

閉環(huán)傳感器SGS

閉環(huán)分辨率0.5μrad(≈0.1)

閉環(huán)線性度0.25%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.02%F.S.

空載諧振頻率3.1kHz

閉環(huán)空載階躍時(shí)間8ms

靜電容量14.5μF/軸

材質(zhì)

重量340g

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