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P16系列穩(wěn)像壓電掃描臺(tái)

更新時(shí)間: 2021-03-08

P16系列壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái),機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心具有通孔,該系列掃描臺(tái)有行程可達(dá)105μm,開環(huán)、閉環(huán)可選。方形移動(dòng)臺(tái)面,便于與外部機(jī)械結(jié)構(gòu)安裝連接。

特點(diǎn)

•位移可達(dá)105μm

•承載能力1.5kg

•閉環(huán)重復(fù)定位精度高

•開環(huán)、閉環(huán)可選

•真空版本可選

 

頻率負(fù)載曲線

 

剛度大、諧振頻率高、負(fù)載能力大

P16系列壓電掃描臺(tái),采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,掃描臺(tái)分別可實(shí)現(xiàn)50μm 100μm、105μm 的運(yùn)動(dòng)行程,一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)XY 軸運(yùn)動(dòng)無耦合,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載1.5kg 的負(fù)載,空載諧振頻率達(dá)700Hz。P16.XY100 版本為中心對(duì)稱運(yùn)動(dòng)方式,需配套帶有一通道恒壓的三通道壓電控制器。

P16二維壓電掃描臺(tái)中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm,該系列壓電掃描臺(tái)以其小體積、大負(fù)載、高動(dòng)態(tài)等特性廣泛應(yīng)用于顯微成像等領(lǐng)域。

 

應(yīng)用實(shí)例

P16.XY二維壓電掃描臺(tái)以其大承載、高頻率等特點(diǎn),應(yīng)用于光路調(diào)整實(shí)驗(yàn)中,帶載鏡片XY軸精密運(yùn)動(dòng)。

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)P16.XY100

運(yùn)動(dòng)自由度X、Y

行程范圍(0~120V):80μm或±40μm/軸

行程范圍(0~150V):100μm/軸或±50μm/軸

閉環(huán)傳感器SGS

通孔尺寸Ø20mm

/開環(huán)分辨率10/5nm

閉環(huán)線性度1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.5%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)<25μrad

/拉力30/30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度0.5N/μm

空載諧振頻率600Hz

/開環(huán)空載階躍時(shí)間10/1.6ms

承載能力1.5kg

靜電容量3.6μF/軸

材質(zhì)鋼、鋁

重量220g

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