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P60系列Z向大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

更新時(shí)間: 2021-04-10

P60系列Z向大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

P60.Z500是以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源,并采用放大機(jī)構(gòu)的Z向運(yùn)動(dòng)的大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái),是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng),可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度,并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用,如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等,已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P60.Z500系列壓電掃描臺(tái),采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,可實(shí)現(xiàn)500μm的運(yùn)動(dòng)行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載2kg的負(fù)載,空載諧振頻率達(dá)290Hz。

 

帶載階躍時(shí)間

P60.Z500S 帶載350g時(shí),階躍時(shí)間200ms。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)P60.Z500

運(yùn)動(dòng)自由度Z

行程范圍(0~120V)400μm

行程范圍(0~150V)500μm

閉環(huán)傳感器SGS

/開(kāi)環(huán)分辨率20/5nm

閉環(huán)線性度:0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.05%F.S.

空載諧振頻率290Hz

承載能力2kg

靜電容量28.8μF

材質(zhì)鋼、鋁

重量(不含線)0.65kg

全國(guó)統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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