N31系列直線壓電馬達,行程可達100mm!
N31系列直線壓電馬達,內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動,直線運動行程可選 25、50、100mm,可達亞納米級分辨率??蛇x配閉環(huán)伺服傳感器(增量式編碼器),具有更高的定位精度。可選移動臺面。
特點
• 大出力
• 閉環(huán)誤碰后自動歸位
• 上電自動找零位
• 可選光柵數(shù)字閉環(huán)
• 采用耐磨材料,真空無磁兼容
應(yīng)用領(lǐng)域
• 工業(yè)級精密定位
• 半導(dǎo)體技術(shù)/測試
• 晶圓檢測
• 平版印刷
• 納米壓印
• 納米計量學(xué)
• 在強磁場和真空中運動
大出力
N31系列直線壓電馬達的主動推拉力可達50N,被動保持力達60N。并且,N31水平放置時,可承載10kg負(fù)載下進行高精度運動。
增量式編碼器提高精度
N31可選配增量式編碼器作為閉環(huán)傳感器,可提高直線運動的精度。
斷電自鎖、自動找零、自動歸位
N31在斷電后具有自鎖功能,且再次上電時,會自動找零位。在使用中,若有誤碰情況,N31會自動調(diào)節(jié)歸位。
耐磨材料
N31直線壓電馬達采用高耐磨材料,壽命達千米以上。
配套控制器
E71系列壓電控制器是專為驅(qū)動N31直線壓電馬達而設(shè)計,它是由上位機數(shù)字控制,運動速度可調(diào),采用逼進式到達目標(biāo)位置的設(shè)定方式。
N31技術(shù)參數(shù)
型號:N31直線壓電馬達
運動自由度:X
集成傳感器類型:增量式編碼器
標(biāo)稱行程范圍:25mm、50mm、100mm
速度上線:10mm/s
閉環(huán)分辨率:<10nm
開環(huán)分辨率:<0.1nm
推/拉力(主動):50N
保持力(被動):60N
工作溫度:0~50℃
材質(zhì):鋁,不銹鋼
電纜長度:1.5m
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