S38系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡為小體積的θx、θy二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，具有非常小巧的外形結(jié)構(gòu)同時(shí)能夠帶動(dòng)鏡片快速響應(yīng)，提供頂端面的高精度角度運(yùn)動(dòng)，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供更高的加速度，使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍，可帶載小型鏡片做快速二維光路偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，是光路調(diào)整、激光掃描等應(yīng)用的理想選擇。

特性

· θx、θy 二維偏轉(zhuǎn)

· 可選行程1.5或3mrad

· 小體積，外徑僅20mm

· 高諧振頻率

高動(dòng)態(tài)、高穩(wěn)定性、閉環(huán)高精度

S38偏轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu)緊湊，內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電促動(dòng)器，集成在柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，提供了更好的性能及可靠性。在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用應(yīng)變傳感器來得到定位精度，同時(shí)他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號(hào)，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。

開/閉環(huán)曲線

S38.T1開/閉環(huán)曲線。

閉環(huán)線性度曲線

S38.T1S閉環(huán)線性度曲線。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：S38.T1

運(yùn)動(dòng)自由度：θx、θy

行程范圍@120V：1.2mrad/軸

行程范圍@150V：1.5mrad/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：0.5/0.02μrad

閉環(huán)線性度：0.3%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

空載諧振頻率：7000Hz

靜電容量：1.6μF/軸

重量：50g（不含線）

型號(hào)：S38.T2

運(yùn)動(dòng)自由度：θx、θy

行程范圍@120V：2.4mrad/軸

行程范圍@150V：3mrad/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：1/0.04μrad

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.2%F.S.

空載諧振頻率：2000Hz

靜電容量：3.6μF/軸

重量：60g（不含線）