壓電促動(dòng)器內(nèi)部集成高可靠性壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率，位移行程可達(dá)260微米，微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間，外部由柱形不銹鋼外殼保護(hù)。較高的內(nèi)部機(jī)械預(yù)載力可適用于高負(fù)載、高動(dòng)態(tài)應(yīng)用。出力達(dá)50000N，使壓電促動(dòng)器非常適于腔調(diào)諧、主動(dòng)振動(dòng)、減震抑震或自適應(yīng)力學(xué)。同時(shí)，小體積、高諧振頻率等特點(diǎn)又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉(zhuǎn)、精密加工或顯微光刻等應(yīng)用。
壓電促動(dòng)器應(yīng)用領(lǐng)域：
超導(dǎo)腔調(diào)諧
通過諧振器在軸向拉伸超導(dǎo)腔，改變加速間隙的大小，控制超導(dǎo)腔的頻率。通過機(jī)械調(diào)諧進(jìn)行頻率的粗調(diào)后，當(dāng)超導(dǎo)腔的頻率接近所需要的頻率時(shí)，通過壓電陶瓷促動(dòng)器對(duì)頻率進(jìn)行微調(diào)。利用的是壓電陶瓷促動(dòng)器的大出力、微位移的特性。
微細(xì)電火花加工
采用微細(xì)電火花加工微小孔過程中會(huì)產(chǎn)生很多碎屑，這會(huì)嚴(yán)重影響電火花加工的精準(zhǔn)度及加工速度。設(shè)備中采用壓電促動(dòng)器，利用其微納米級(jí)位移，高頻振動(dòng)，大出力等特性將加工產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行有效的清除，起到優(yōu)異的導(dǎo)屑作用。
減震抑震
震動(dòng)是很多機(jī)械系統(tǒng)中需要避免或消除的，如航空航天、汽車行業(yè)等。在震動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中監(jiān)測(cè)到震動(dòng)時(shí)，通過給壓電促動(dòng)器施加電信號(hào)，使壓電促動(dòng)器隨之產(chǎn)生與震動(dòng)方向相反的位移，從而抵消震動(dòng)。
