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新品推薦|N18.Z5K小體積直線馬達(dá),Z向升降!

更新時間: 2024-09-19

N18.Z5K壓電馬達(dá)內(nèi)部采用粘滑原理驅(qū)動,將壓電陶瓷的微變形量,通過特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,輸出宏動直線毫米行程,實(shí)現(xiàn)高精度定位。N18.Z5K為Z向升降式壓電馬達(dá)平臺,行程可達(dá)5mm,分辨率可達(dá)6nm,速度可達(dá)3mm/s,可在真空、低溫、無磁的應(yīng)用環(huán)境中使用。它的運(yùn)動形式為整體運(yùn)動面做Z向升降,可使帶載樣品四周不受遮擋,其尺寸僅為24×24×20mm^3,專為空間受限的應(yīng)用而設(shè)計。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

Z向運(yùn)動

行程可達(dá)5mm

分辨率可達(dá)6nm

負(fù)載能力可達(dá)0.15kg

速度可達(dá)3mm/s

真空、低溫、無磁環(huán)境適用
產(chǎn)品應(yīng)用

超分辨成像樣品移動

光纖對接

納米聚焦與掃描

原子力顯微鏡

半導(dǎo)體精密定位

微納裝備及制造

技術(shù)參數(shù)

型號

N18.Z5K

運(yùn)動自由度

Z

標(biāo)稱行程范圍

5mm

速度上限(任意方向)

3mm/s

分辨率

6nm

推/拉力

3N

保持力(斷電自鎖)

5N

負(fù)載(水平方向)

0.15kg

加載后速度上限(水平方向)

3mm/s@150g

負(fù)載(垂直方向)

0.1kg

加載后速度上限(垂直方向)

2mm/s@100g

工作溫度

0~50℃

電纜長度

1.5m

材質(zhì)

重量

40g

E53.C1K-J壓電控制器適用于驅(qū)動N18.Z5K壓電馬達(dá),它是單通道開環(huán)壓電控制器,采用數(shù)字控制,24VDC供電,靜態(tài)功耗小于5W,通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232,操作便捷,尺寸僅105×103×30.1mm^3,外觀體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成。

配套控制器

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