壓電促動(dòng)器的生產(chǎn)技術(shù)要求
一種壓電促動(dòng)器,其包括壓電元件和保持該壓電元件的保持構(gòu)件,所述壓電元件具有形成于壓電陶瓷片表面上的一對電極,其中:
該壓電陶瓷滿足下面的要求(a)-(e)中的至少一種要求:
?。ǎ幔┒衙芏葢?yīng)該等于或小于5g/cm↑[3],根據(jù)共振-反共振方法計(jì)算的楊氏模量Y↓[11]↑[E]應(yīng)該等于或大于90GPa;
?。ǎ猓?dǎo)熱系數(shù)應(yīng)該等于或大于2Wm↑[-1]K↑[-1];
?。ǎ悖┰冢常啊嬷粒保叮啊娴臏囟确秶鷥?nèi),熱膨脹系數(shù)應(yīng)該等于或大于3.0ppm/℃;
?。ǎ洌┰冢常啊嬷粒保叮啊娴臏囟确秶鷥?nèi),熱電系數(shù)應(yīng)該等于或小于400μCm↑[-2]K↑[-1];
?。ǎ澹┰冢常啊嬷粒福啊娴臏囟确秶鷥?nèi),根據(jù)共振-反共振方法計(jì)算的機(jī)械品質(zhì)因數(shù)Qm應(yīng)該等于或小于50。