壓電掃描臺(tái)設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用
壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)zui大370μm的掃描范圍，運(yùn)動(dòng)直線性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對(duì)鏡片進(jìn)行高速微納米級(jí)的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻實(shí)驗(yàn)。
全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，電容位移傳感器是將位移變化轉(zhuǎn)換為電容電量信號(hào)的變化。電容位移傳感器簡(jiǎn)單易用，而且擁有*的精度，可達(dá)到亞納米量級(jí)。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺(tái)的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級(jí)。低的移動(dòng)質(zhì)量和高的剛度結(jié)合可以提供非常高的帶寬。
芯明天P18.XY300壓電掃描臺(tái)以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用 于納米光刻實(shí)驗(yàn)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZzui大370μm 的高速掃描，zui大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規(guī)格型號(hào)可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。
壓電掃描臺(tái)設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺(tái)采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。該產(chǎn)品具有良好的位置重復(fù)性。擁有良好的響應(yīng)速度，響應(yīng)時(shí)間達(dá)到毫秒量級(jí)。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進(jìn)行工業(yè)定制。
