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壓電掃描臺設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用

更新時(shí)間: 2020-02-12

壓電掃描臺設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用

   壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,可以實(shí)現(xiàn)zui大370μm的掃描范圍,運(yùn)動直線性好,可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動,從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻實(shí)驗(yàn)。
 
  全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),電容位移傳感器是將位移變化轉(zhuǎn)換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,而且擁有*的精度,可達(dá)到亞納米量級。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位工作臺的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級。低的移動質(zhì)量和高的剛度結(jié)合可以提供非常高的帶寬。
 
  芯明天P18.XY300壓電掃描臺以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用 于納米光刻實(shí)驗(yàn)。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZzui大370μm 的高速掃描,zui大通光孔徑為?35mm,多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。
 
  壓電掃描臺設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,以柔性鉸鏈為運(yùn)動副,使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。該產(chǎn)品具有良好的位置重復(fù)性。擁有良好的響應(yīng)速度,響應(yīng)時(shí)間達(dá)到毫秒量級。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進(jìn)行工業(yè)定制。
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