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納米定位臺正常工作需要什么條件?

更新時間: 2021-07-08

   納米定位臺為小體積1~3維壓電運(yùn)動平臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化,柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有非常高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,運(yùn)動平臺采用無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,且壓電平臺體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
 
  考慮到納米定位臺將要運(yùn)行的環(huán)境條件,對于獲得既定應(yīng)用的所需結(jié)果非常重要。
 
  這些條件包括:真空(HV,UHV等)磁場、溫度、濕氣、外部振動等。
 
  納米定位臺可由各種材料制成,例如殷鋼,不銹鋼,鈦和鋁。每個都有優(yōu)點(diǎn);但是,將壓電平臺的材料與外部系統(tǒng)的材料進(jìn)行匹配以獲得最佳結(jié)果通常很重要。鋁是常用的材料,因?yàn)樗哂辛己玫拿芏?剛度比。這對于需要磁場的應(yīng)用也很好。Invar或SuperInvar之類的材料具有較低的熱系數(shù),當(dāng)無法將溫度考慮因素隔離開時,它們可以提供穩(wěn)定性。不銹鋼可用于需要更高剛度以及很高溫度穩(wěn)定性的應(yīng)用中。當(dāng)強(qiáng)度,穩(wěn)定性和非磁性都非常重要時,可以考慮使用鈦合金材料。
 
  定位臺可以在非磁性定位的環(huán)境中運(yùn)行。平臺的設(shè)計考慮了特定的應(yīng)用,并相應(yīng)地由材料制成??梢葬槍μ囟☉?yīng)用設(shè)計壓電平臺,選擇本體材料是該過程的重要組成部分。大多數(shù)平臺都可以在中低真空下運(yùn)行。
 
  定位臺用于各種不同的環(huán)境。使用壓電平臺的設(shè)備中的振動可能導(dǎo)致性能低于預(yù)期指標(biāo)。
 
  外部的機(jī)械干擾,附近的設(shè)備以及聲音振動都可能導(dǎo)致定位不準(zhǔn)確。為了獲得最佳結(jié)果,應(yīng)使用振動隔離來幫助控制系統(tǒng)中的外部振動。
 
  在外部環(huán)境中工作時,應(yīng)使壓電納米定位系統(tǒng)不受潮。溫度的大變化會導(dǎo)致設(shè)備移出壓電平臺的控制范圍。應(yīng)該對此類環(huán)境系統(tǒng)進(jìn)行相應(yīng)規(guī)劃以獲得最佳結(jié)果。
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