納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有非常高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，且壓電平臺(tái)體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
考慮到納米定位臺(tái)將要運(yùn)行的環(huán)境條件，對(duì)于獲得既定應(yīng)用的所需結(jié)果非常重要。
這些條件包括：真空（HV，UHV等）磁場(chǎng)、溫度、濕氣、外部振動(dòng)等。
納米定位臺(tái)可由各種材料制成，例如殷鋼，不銹鋼，鈦和鋁。每個(gè)都有優(yōu)點(diǎn)；但是，將壓電平臺(tái)的材料與外部系統(tǒng)的材料進(jìn)行匹配以獲得最佳結(jié)果通常很重要。鋁是常用的材料，因?yàn)樗哂辛己玫拿芏?剛度比。這對(duì)于需要磁場(chǎng)的應(yīng)用也很好。Invar或SuperInvar之類的材料具有較低的熱系數(shù)，當(dāng)無(wú)法將溫度考慮因素隔離開(kāi)時(shí)，它們可以提供穩(wěn)定性。不銹鋼可用于需要更高剛度以及很高溫度穩(wěn)定性的應(yīng)用中。當(dāng)強(qiáng)度，穩(wěn)定性和非磁性都非常重要時(shí)，可以考慮使用鈦合金材料。
定位臺(tái)可以在非磁性定位的環(huán)境中運(yùn)行。平臺(tái)的設(shè)計(jì)考慮了特定的應(yīng)用，并相應(yīng)地由材料制成?？梢葬槍?duì)特定應(yīng)用設(shè)計(jì)壓電平臺(tái)，選擇本體材料是該過(guò)程的重要組成部分。大多數(shù)平臺(tái)都可以在中低真空下運(yùn)行。
定位臺(tái)用于各種不同的環(huán)境。使用壓電平臺(tái)的設(shè)備中的振動(dòng)可能導(dǎo)致性能低于預(yù)期指標(biāo)。
外部的機(jī)械干擾，附近的設(shè)備以及聲音振動(dòng)都可能導(dǎo)致定位不準(zhǔn)確。為了獲得最佳結(jié)果，應(yīng)使用振動(dòng)隔離來(lái)幫助控制系統(tǒng)中的外部振動(dòng)。
在外部環(huán)境中工作時(shí)，應(yīng)使壓電納米定位系統(tǒng)不受潮。溫度的大變化會(huì)導(dǎo)致設(shè)備移出壓電平臺(tái)的控制范圍。應(yīng)該對(duì)此類環(huán)境系統(tǒng)進(jìn)行相應(yīng)規(guī)劃以獲得最佳結(jié)果。
