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中空式壓電六軸納米定位運(yùn)動(dòng)平臺(tái)|開(kāi)工大吉!

更新時(shí)間: 2022-02-10

熱熱鬧鬧的新春假期結(jié)束了,新的一個(gè)農(nóng)歷年到來(lái),大家也都回到了自己的崗位上,芯明天祝大家開(kāi)工大吉! 

此次推文為大家?guī)?lái)一款芯明天的六軸壓電納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)-H61.XYZTR0S!

芯明天六壓電納米定位臺(tái)H61.XYZTR0S是一款六軸運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái),精度高、承載大,適用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉(zhuǎn),中心具有通孔,適于進(jìn)行納米級(jí)高精度定位調(diào)節(jié)的透射光應(yīng)用。

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H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺(tái)的驅(qū)動(dòng)形式不同于六自由度結(jié)構(gòu),它的外形更加常規(guī)化,運(yùn)動(dòng)區(qū)域局限于中心方形移動(dòng)臺(tái)面,非常易于平臺(tái)與負(fù)載的安裝固定。

大型通孔,適于透光應(yīng)用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺(tái)的中心具有50mm×50mm的方形通孔,非常適合透射光的應(yīng)用,如樣品的觀測(cè)與顯微成像等。

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承載能力強(qiáng),適于大負(fù)載應(yīng)用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺(tái)的承載能力可達(dá)10.5kg!非常適合較大型樣品負(fù)載的六軸納米定位。

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六軸納米定位,更高精度

 

        H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺(tái)在X Y方向的位移為80μm(或±40μm),Z向位移達(dá)35μm,θx θy方向的偏轉(zhuǎn)行程為0.7mrad/軸(或±0.35mrad/軸),θz方向的偏轉(zhuǎn)行程為0.3mrad/軸(或±0.15mrad/軸)。

        在如此小的運(yùn)動(dòng)范圍下,六軸壓電平臺(tái)可進(jìn)行更加精確的納米級(jí)直線運(yùn)動(dòng)與納弧度級(jí)角度運(yùn)動(dòng),為應(yīng)用環(huán)境提供超高精度的運(yùn)動(dòng)控制。

 

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配套控制器 - E51.D7S壓電控制器

圖所示,E51.D7S壓電控制器是專用于驅(qū)動(dòng)六壓電定位臺(tái)而設(shè)計(jì)研發(fā)的低功耗、低紋波控制器,結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。與H61.XYZTR0S壓電定位臺(tái)構(gòu)成高精度六軸納米定位系統(tǒng)。E51.D7S壓電控制器的控制下,H61.XYZTR0S壓電定位平臺(tái)X、Y、Z、θx、θy、θz六個(gè)維度的操作與控制將更加靈活,即使在10kg的超大負(fù)載下。

使得H61.XYZTR0S壓電定位臺(tái)的應(yīng)用范圍擴(kuò)展到多個(gè)領(lǐng)域。

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H61.XYZTR0S軸定位系統(tǒng)

(圖左:E51.D7S壓電控制器,圖右:H61.XYZTR0S

典型應(yīng)用

• 六軸超精密位置調(diào)整

• 棱鏡位置調(diào)整

• 光學(xué)應(yīng)用

• 透射光應(yīng)用

 

實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)曲線

1)角度與電壓曲線

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2)直線位移與電壓曲線

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3)階躍時(shí)間曲線

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技術(shù)參數(shù)

 

型號(hào):H61.XYZTR0S

運(yùn)動(dòng)方向:X、Y、Z、θx、θy、θz

驅(qū)動(dòng)控制:7路驅(qū)動(dòng)

XYZ標(biāo)稱行程范圍(0~120V):         

XY:±32μm/軸        

Z:28μm

XYZ行程范圍(0~150V):        

XY:±40μm/軸        

Z:35μm

θxθy 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)行程(0~120V):

±0.28mrad/軸

θz 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)行程(0~120V):

±0.12mrad/軸

θxθy 偏轉(zhuǎn)行程(0~150V):

±0.35mrad/軸

θz 偏轉(zhuǎn)行程(0~150V):

±0.15mrad/軸

空載諧振頻率:350Hz

負(fù)載10.5kg諧振頻率:50Hz

傳感器:SGS

承載能力:10.5kg

中心通孔:50mm×50mm

外形尺寸:L200×W200×H64 mm^3

使用方式:正向使用、靜態(tài)

靜電容量:       

 XYZ  29μF/軸        

θxθyθz  15μF/軸

重量:<4kg

材質(zhì):鋼、鋁

 

 

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