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壓電平臺的分辨率能到多少?

更新時間: 2022-04-21

  壓電平臺是指以壓電陶瓷驅(qū)動器作為驅(qū)動元件,以柔性鉸鏈機構(gòu)為支撐導向的微位移運動平臺,是實現(xiàn)動態(tài)納米控制*的關(guān)鍵部分。在微操作器,磁盤驅(qū)動、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、納米壓印、納米操縱等領(lǐng)域有著廣泛的應用。
 
  該平臺由壓電陶瓷驅(qū)動器、柔性鉸鏈微位移機構(gòu)、微位移測量傳感器和控制系統(tǒng)組成。適用于激光衛(wèi)星通信、激光雷達、超分辨率光學成像、光學測量、顯微成像、半導體檢測、表面檢測、高密度存儲。
 
  壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級分辨率及定位精度,集成到各種相關(guān)儀器及機械設(shè)備中,從而實現(xiàn)高精度納米級定位與運動。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能,來選擇適合您應用的壓電納米定位臺吧。
 
  結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精細運動的壓電平臺。運動范圍可達375μm,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有不錯的穩(wěn)定性,壓電納米定位臺在精細定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
 
  壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu),可實現(xiàn)亞納米級分辨率。芯明天系列壓電納米定位臺,配套系列壓電控制,可實現(xiàn)0.5nm的步進分辨率。壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅(qū)動,響應時間可快至毫秒級。芯明天系列納米定位臺配套大功率系列壓電控制器,可實現(xiàn)滿幅值階躍時間為1.5ms。
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