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新品推薦！芯明天閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺
更新時間： 2023-02-09
此次為大家?guī)硪豢铋]環(huán)式、三維運動、壓電螺釘驅(qū)動的壓電運動平臺。使用過壓電螺釘運動平臺的用戶都會了解，一般情況下，這種運動平臺都是開環(huán)的，沒有閉環(huán)伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運動控制下對高精度的要求，芯明天專門設(shè)計、研發(fā)了XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動行程、精度等可進(jìn)行精確控制，且精度可達(dá)1.5μm。
XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅(qū)動，壓電螺釘?shù)倪\動是通過內(nèi)部壓電陶瓷的微運動，驅(qū)動螺紋桿旋轉(zhuǎn)，從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動，使得載物移動平臺臺面的直線運動。
產(chǎn)品設(shè)計的參數(shù)如下表所示。
下方測試結(jié)果是在1.5kg負(fù)載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。
從測試結(jié)果中可看出，X、Y、Z三個方向的定位精度均可達(dá)到1.5μm以內(nèi)。運動效果如下視頻所示。
注：視頻60倍率播放。
芯明天可根據(jù)用戶的參數(shù)要求定制壓電螺釘運動平臺，自由選擇一至三維運動版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達(dá)10^-6mbar以上。
XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是三維直線運動版本，因其大行程及高精度的特點，非常適用于半導(dǎo)體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。
XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺采用芯明天自研生產(chǎn)的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機(jī)進(jìn)行連接通信，通過上位機(jī)軟件，對壓電螺釘運動平臺進(jìn)行運動的控制，可設(shè)置運動速度等參數(shù)。
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