S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特性：

 θx, θy 偏擺運動，Z向升降 • 閉環(huán)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 • 透光孔：80×80mm

典型應(yīng)用

• 掃描顯微 • 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲

• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng)

• 生物技術(shù) • 掩模與晶片位置調(diào)整

仿真分析

通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計運動方向上的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許 *精度的運動，因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。

超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

S51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn) 行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達110μm。P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用 有限元分析進行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。可選擇內(nèi)置精密傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，確保其 具有的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米 級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。  

超薄的設(shè)計適用于顯微應(yīng)用

S51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計量等應(yīng) 用設(shè)計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯 微鏡中。

S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。