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產(chǎn)品名稱：超低溫真空無磁壓電掃描臺

產(chǎn)品型號：XD106.XYZ60K

產(chǎn)品報價：

產(chǎn)品特點：超低溫真空無磁壓電掃描臺，是一款三維運動壓電平臺，它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應用而設計

更新日期：2025-02-24

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XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺的詳細資料：

超低溫真空無磁壓電掃描臺

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺，它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應用而設計，可進行XYZ三維掃描運動，采用低溫壓電驅動，耐低溫可達4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無磁材料，采用低溫雙絞線，以適應低溫環(huán)境下的使用。

超低溫真空無磁壓電掃描臺產(chǎn)品特點

· 低溫真空無磁，耐低溫可達4K

· XYZ三維運動

· 4K溫度下位移達30μm/軸

· 分辨率可達2nm

· 開環(huán)運動控制

· 響應速度快

產(chǎn)品應用

· 半導體加工

· 半導體檢測

· 高精密測試和操作

· 其他真空無磁要求的納米運動控制等

技術參數(shù)

型號	XD106.XYZ60K
運動自由度	X、Y、Z
驅動電壓	0~60V@常溫 0~150V@低溫4K
標稱行程范圍（常溫）	70μm/軸 @0~60V，常溫
標稱行程范圍（低溫）	30μm/軸 @0~150V，4K溫度
中心通孔直徑	10mm
分辨率	2nm
空載諧振頻率	X415/Y465/Z497Hz
帶載200g諧振頻率	XY105/Z229Hz
靜電容量	XY5.4μF，Z10.9μF
材質	鈦
承載能力	200g
重量	220g
使用方向	倒置使用

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