產(chǎn)品名稱:超低溫真空無磁壓電掃描臺
產(chǎn)品型號:XD106.XYZ60K
產(chǎn)品特點:超低溫真空無磁壓電掃描臺,是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計
更新日期:2023-08-16
超低溫真空無磁壓電掃描臺
由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計,可進行XYZ三維掃描運動,采用低溫壓電驅(qū)動,耐低溫可達4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無磁材料,采用低溫雙絞線,以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。
超低溫真空無磁壓電掃描臺產(chǎn)品特點
· 低溫真空無磁,耐低溫可達4K
· XYZ三維運動
· 4K溫度下位移達30μm/軸
· 分辨率可達2nm
· 開環(huán)運動控制
· 響應(yīng)速度快
產(chǎn)品應(yīng)用
· 半導(dǎo)體檢測
· 高精密測試和操作
· 其他真空無磁要求的納米運動控制等
技術(shù)參數(shù)
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