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產(chǎn)品名稱:P66A.X30壓電納米定位臺

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P66A.X30壓電納米定位臺,為一維×向運動壓電平臺,可進行38um范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整。

更新日期:2023-11-11

P66A.X30壓電納米定位臺的詳細資料:

P66A.X30壓電納米定位臺

P66A.X30壓電納米定位臺

技術(shù)參數(shù)
機構(gòu)型號位移[μm]分辨率[nm]諧振頻率[kHz]承載[kg]
X軸直驅(qū)機構(gòu)P63.X780.120.8
直驅(qū)機構(gòu)P63.X18-D1180.320.5
直驅(qū)機構(gòu)P66.X30300.758
直驅(qū)機構(gòu)P66.X60600.81.36
直驅(qū)機構(gòu)P66A.X3039520.1
直驅(qū)機構(gòu)XP-630.X150.13.25
直驅(qū)機構(gòu)XP-631.X300.22.45
直驅(qū)機構(gòu)XP-633.X600.31.55
放大機構(gòu)P60.X250±16550.490.6
放大機構(gòu)N60.X30340.51.80.5
放大機構(gòu)XP-611.X10010040.280.8
放大機構(gòu)P11.X10011040.30.8
放大機構(gòu)N60.X30300.51.80.5
Z軸直驅(qū)機構(gòu)P63.Z76.80.12.50.8
直驅(qū)機構(gòu)P63.Z8-D180.310.5
放大機構(gòu)P11.Z10010040.70.8
放大機構(gòu)P11.Z20020040.180.5
放大機構(gòu)P11.Z30030050.120.4
放大機構(gòu)P60.Z25025030.261
放大機構(gòu)P60.Z50050050.292
放大機構(gòu)P66.Z30301.411
放大機構(gòu)XP-611.Z10010040.281.2
放大機構(gòu)P80.Z10011030.40.8


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