壓電偏擺/旋轉臺系列是通過壓電陶瓷驅動進行精密角度調整,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構設計,確保了產品具有的偏轉精度和超高的穩(wěn)定性且響應速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調整。 P21系列壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺,產品體積小巧,P21系列zui大旋轉角度8.5mrad, 承載能力達2kg。 特性 • θz旋轉,角度位移達8.5mrad • 承載達2kg • 閉環(huán)定位精度高 • 響應速度快 • 體積小巧 小體積、高分辨率、高精度 | 頻率負載曲線 | 應用實例-超精密旋轉定位 | P21 θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理,可以實現zui大8.5mrad的旋轉,體積小巧、結構緊湊,尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉設備中。 采用壓電陶瓷作為驅動元件,臺體采用柔性鉸鏈機構,無摩擦、無回差,可以實現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現微弧度的定位精度,在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。 | | P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用,組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉定位操作。 |
應用 • 光路調整 • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉、干涉/計量等 驅動控制方式 P21為θz一維壓電旋轉臺,單通道壓電控制器即可驅動控制,閉環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器,實現θz高精度旋轉定位控制。 |