XP-721系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。 XP-721系列為小體積常規(guī)型壓電物鏡定位器,采用分離式螺紋適配器設(shè)計,可與多種顯微鏡配套使用。種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝。 特性 • Z向運動,zui大行程110μm • zui大承載0.2kg • 毫秒級響應(yīng)時間 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 聚焦穩(wěn)定性好 外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 可裝配多種品牌、尺寸的物鏡 | | | |
快速安裝、高穩(wěn)定性、長使用壽命 | 頻率負載曲線 | 應(yīng)用實例-倒置光學(xué)顯微鏡 | XP-721壓電物鏡定位器為通用型顯微成像聚焦定位器,采用壓電陶瓷驅(qū)動,可實現(xiàn)的掃描范圍為110μm。 產(chǎn)品通過螺紋適配器安裝于透鏡連接架與物鏡間。將物鏡定位器主體通過螺紋連接到透鏡轉(zhuǎn)動架上,再將物鏡連接到定位器上,這種設(shè)計使得拆卸物鏡時不需要拆下其它組件。 物鏡定位器內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,與優(yōu)異的機械結(jié)構(gòu)相結(jié)合,具有穩(wěn)定性好、使用壽命長等優(yōu)點。 | | XP-721系列壓電物鏡定位器安裝在倒置光學(xué)顯微鏡中。 |
響應(yīng)時間可調(diào)節(jié) | 驅(qū)動方式 | 閉環(huán)曲線 | 配不同控制與承載響應(yīng)時間可調(diào)。 | | |
應(yīng)用 • 三維成像 • 精密定位 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導(dǎo)體測試 • 表面檢測 • 光學(xué)計量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 |