XP-63系列壓電納米定位臺(tái)為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運(yùn)動(dòng)定位臺(tái)，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以通過(guò)自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺(tái)。 XP-63系列壓電納米定位臺(tái)典型應(yīng)用 • 干涉 • 生物技術(shù)
• 納米定位 • 微加工/精密控制 應(yīng)用實(shí)例 采用XP-633壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測(cè)控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗(yàn)。 XP-63系列壓電納米定位臺(tái)特點(diǎn)： • 1~3維自由組合 • zui大行程68μm • zui大承載5kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S. • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間    1-3維平移臺(tái)
XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)可以通過(guò)疊加的方式 組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。多種規(guī)格型號(hào)可選。柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。 體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具 有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特 點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時(shí)間可 以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)。例如XP-630帶動(dòng)20g負(fù)載，響應(yīng)時(shí) 間僅為5ms。
XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅 為60×45×18mm，易于與其他平臺(tái)設(shè)備集成。
閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào) 并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID算法對(duì)檢測(cè)到 的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。 XP-63系列壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | XP-630.XS XP-630.XK | XP-631.XS XP-631.XK | XP-633.XS XP-633.XK | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | X | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 12 | 24 | 48 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 17 | 34 | 68 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 0.5/0.1 | 1/0.2 | 2/0.3 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | 0.15/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <20 | <25 | <30 | μrad | 推/拉力 | 480/80 | 480/80 | 480/80 | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 40 | 20 | 10 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 3.2 | 2.4 | 1.5 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 1.5/0.8 | 3/1.6 | 5/3.2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 60 | 30 | 15 | zui大承載 | 5 | 5 | 5 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 150 | 250 | 450 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。 |
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