特性 一維X軸 超小體積 位移行程34μm 毫秒級響應時間 納米級定位精度 一維X軸平移臺 N60為一維X軸運動平臺,臺面兩個安裝螺紋孔,便于安裝負載。 高分辨率、高諧振頻率、體積小巧 N60采用機構放大設計原理,一維X軸運動行程34μm,體積小巧、結構緊湊,尺寸為28╳28╳12.5mm。N60壓電納米定位臺采用機構放大設計原理,優(yōu)異的結構設計,無摩擦無后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的動態(tài)性能,空載諧振頻率達1800Hz。 產品穩(wěn)定性好、無漂移、使用壽命長,體積小巧,方便與其他系統(tǒng)結構進行集成安裝等優(yōu)異的性能使其適合于光學顯微掃描、精密加工、微操作等應用。 高分辨率 N60配套E53壓電控制器,可實現(xiàn)0.5nm的步進分辨率。 |