壓電陶瓷驅(qū)動電源-E00系列用來驅(qū)動控制壓電陶瓷以及納米定位臺等產(chǎn)品的儀器,根據(jù)結(jié)構(gòu)形式主要分為模塊化式、集成式、工業(yè)式、板卡式控制器產(chǎn)品。模擬、數(shù)字、鍵盤、I/O等多種控制方式。開環(huán)、閉環(huán)、單路、多路多種型號可選。可驅(qū)動芯明天及進(jìn)口各類壓電產(chǎn)品。 特性: 模塊化組合 • 功率放大模塊 • 伺服傳感模塊 • 顯示與通信模塊 • 機(jī)箱供電模塊 • 自由組合 多種電壓可選0-120V,0-150V,0-300V 0-600V,0-900V,0-1800V ±120V、±150V,±300V ±450V,±900V 多通道輸出模塊化組拼,多可組成 百通道控制器 壓電陶瓷驅(qū)動電源-E00系列技術(shù)參數(shù) 參數(shù)表 | 型號 | E00 | E01 | 驅(qū)動模塊 | 僅擴(kuò)展驅(qū)動模塊 | 1~18 通道 | 1~9 通道 | 輸入模擬信號 | 單極性 0~+10V或 0~+5V, 雙極性 -10~+10V或 -5~+5V | 可選輸出電壓 | 100V/150V/200V/300V/±150V | ±200/±300V/600V | 900V/1800V/±900V | 輸出電壓紋波 | ≤ 5mV | ≤ 10mV | ≤ 20mV | 電壓穩(wěn)定性 | < 0.1%F.S.(滿量程)/8hours | 模擬輸入阻抗 | 100KΩ±20% | 空載滿幅值帶寬 | 可選擇 1K、10K、30K、50KHz | 驅(qū)動模塊通道數(shù) | 1~3 路 | 單通道平均功率 | 7W ~ 35W | 單通道峰值功率 | 20W ~ 110W | 平均電流 | 40mA ~ 350mA | 峰值電流 | 100mA ~ 11A | 小信號帶寬 | 5kHz ~200kHz | 大信號帶寬 | 1kHz ~ 50kHz | 電壓增益 | 10 ~ 180倍 | 調(diào)節(jié)旋鈕 | 10 圈 | 傳感模塊 | 傳感器模式 | 電阻式 SGS、 電感式 、 電容式 CAP | 傳感通道數(shù) | 1 ~ 3 路 | 傳感器接口 | 4 芯 LEMO 連接器(傳感器輸入) | 傳感器輸出接口 | 單路 BNC 連接器、三路 LEMO 連接器 | 傳感器輸出電壓 | 單極性電源:0~+10V 雙極性電源:-10~+10V | 顯示與通信模塊 | 主控通道數(shù) | 1~3 路 | D/A 轉(zhuǎn)換器 | 16/24 Bit ±10V 輸出 | A/D 轉(zhuǎn)換器 | 16Bit ±10V 輸入 | 輸出電壓分辨率 | 16Bit( 滿幅值 1/30000)、24Bit( 滿幅值的 1/100000) | 串口/USB通信接口 | RS-232/RS-422( 波特率 9600)/USB 2.0 | 機(jī)箱與供電模塊 | 供電模式 | AC 220V±10% 50Hz±10% | 電流限制 | 短路保護(hù) | 長×高× 深 | 500×170×360mm | 280×170×360mm | 功能表 | 型號 | E00 | E01 | 組合形式 | 可配備驅(qū)動,傳感和主控模塊,詳見各模塊及組合說明 | 外部特征 | 各模塊間可任意組合,可升級 | 基本控制方式 | 手動調(diào)節(jié)、模擬輸入、計算機(jī)串口 /USB 接口、自發(fā)波形控制、開 / 閉環(huán)控制 | 基本功能 | 過流保護(hù)功能,溫度保護(hù)功能,動態(tài)功率保護(hù) | 軟件配置 | 配有功能強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)計算機(jī)控制軟件 | 自發(fā)波形功能介紹 | 可自發(fā)輸出正弦波,方波,三角波,鋸齒波,頻率在 1kHz-10kHz以內(nèi)不衰減 | 液晶鍵盤通訊接口 | 標(biāo)配(LCD,薄膜按鍵,RS-232,RS-422,USB) |
功率放大模塊 主要功能是將微弱的外部模擬輸入信 號或計算機(jī)通過DA給出的模擬信號或其 它的控制信號,通過功率放大模塊內(nèi)部的 電壓與功率放大電路將信號放大。 E03功率放大模塊 通道數(shù) | 型號 | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 | 1~3 | E03.00.1 | 0~+10V | 0~+100V | 1kHz | 70mA | 210mA | 5mV | E03.00.2 | 0~+120V | 58mA | 174mA | 1~2(3 通道恒壓 ) | E03.00.3 | 0~+120V | 58mA | 174mA | 1~3 | E03.00.4 | 0~+150V | 46mA | 138mA | E03.00.5 | 0~+200V | 35mA | 105mA | E03.00.6 | 0~+300V | 23mA | 70mA | E03.00.7 | -10~+10V | -100~+100V | 35mA | 105mA | E03.00.8 | -150~+150V | 23mA | 69mA | E03.00.9 | 0~+10V | 0~+100V | 10kHz | 70mA | 1000mA | E03.00.10 | 0~+120V | 58mA | 1000mA | E03.00.11 | 0~+150V | 46mA | 1000mA | E03.00.12 | 0~+100V | 30kHz | 70mA | 210mA | E03.00.13 | 0~+120V | 58mA | 174mA | E03.00.14 | 0~+150V | 46mA | 138mA | E03.00.15 | 0~+200V | 35mA | 105mA | E03.00.16 | 0~+300V | 23mA | 69mA | E03.00.17 | -10~+10V | -100~+100V | 35mA | 105mA | E03.00.18 | -150~+150V | 23mA | 69mA | E03.05.1 | 0~+10V | 0~+100V | 50kHz | 70mA | 210mA | E03.05.2 | 0~+120V | 58mA | 174mA |
E05功率放大模塊 通道數(shù) | 型號 | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 | 1 | E05.00.1 | 0~+10V | 0~+100V | 1kHz | 350mA | 1050mA | 5mV | E05.00.2 | 0~+120V | 291mA | 873mA | E05.00.3 | 0~+150V | 233mA | 700mA | E05.00.4 | 0~+200V | 175mA | 525mA | E05.00.5 | 0~+300V | 116mA | 348mA | E05.00.6 | 0~+400V | 87mA | 260mA | 10mV | E05.00.7 | -10~+10V | -100~+100V | 5kHz | 175mA | 525mA | E05.00.8 | -150~+150V | 116mA | 348mA | E05.00.9 | -200~+200V | 87mA | 260mA | E05.00.10 | -300~+300V | 58mA | 174mA | E05.00.11 | 0~+10V | 0~+200V | 175mA | 525mA | E05.00.12 | 0~+300V | 116mA | 348mA | E05.00.13 | 0~+100V | 10kHz | 350mA | 1000mA | 5mV | E05.00.14 | 0~+120V | 291mA | 1000mA | E05.00.15 | 0~+150V | 233mA | 1000mA | E05.00.16 | 0~+200V | 175mA | 1000mA | E05.00.17 | 0~+600V | 5kHz | 60mA | 175mA | 10mV | E05.03.1 | 0~+100V | 30kHz | 250mA | 750mA | 5mV | E05.03.2 | 0~+120V | 205mA | 615mA | E05.03.3 | 0~+150V | 170mA | 510mA | E05.03.4 | 0~+200V | 125mA | 375mA | 10mV | E05.03.5 | 0~+300V | 85mA | 255mA | E05.03.6 | -10~+10V | -100~+100V | 125mA | 375mA | E05.03.7 | -150~+150V | 85mA | 255mA | E05.05.1 | 0~+10V | 0~+100V | 50kHz | 250mA | 750mA | E05.05.2 | 0~+120V | 205mA | 615mA | E05.05.3 | 0~+40V | 100kHz | 625mA | 1875mA | 20mV | E05.05.4 | 150kHz |
E06功率放大模塊 通道數(shù) | 型號 | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 | 2 | E06.00.A2 | -10~+10V | -300~+300V | 1kHz | 5mA | 15mA | 20mV | 4 | E06.00.A4 |
E07功率放大模塊 通道數(shù) | 型號 | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 | 1 | E07.00.1 | 0~+10V | 0~+600V | 3kHz | 8mA | 24mA | 20mV | E07.00.2 | 0~+900V | 5.5mA | 16mA | E07.00.3 | 0~+1800V | 2.7mA | 8mA | E07.00.4 | -10~+10V | -450~+450V | 5.5mA | 16mA | E07.00.5 | -900~+900V | 2.7mA | 8mA |
E09 PZT傳感控制模塊 E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動工作臺等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器提供高精準(zhǔn)、 高穩(wěn)定性和高可靠性的激勵信號,并檢測和處理 PZT或微動工作臺等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器信 號,并將該傳感器信號通過內(nèi)部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個獨(dú)立的設(shè) 備,需集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。 型號 | E09.S1 | E09.S3 | E09.L1 | E09.L3 | E09.C1 | 功能 | PZT 傳感控制模塊 | 通道數(shù) | 1 | 3 | 1 | 3 | 1 | 傳感器類型 | SGS | SGS | | | CAP | 伺服特性 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 傳感器接口 | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.116.CLL | 傳感器輸出接口 | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC | 電壓輸出范圍(V) | 0 至 10 | 工作溫度范圍(℃) | 0 至 50 |
E17/E18顯示與通信模塊 E17/E18系列為液晶顯示與計算機(jī)通信模塊,具有測 量和顯示功率放大模塊輸出電壓和PZT傳感器控制模塊的 當(dāng)前位移值、計算機(jī)接口接收和處理來自計算機(jī)的控制命 令、鍵盤、液晶和軟件進(jìn)行人機(jī)交互操作數(shù)字閉環(huán)控制等 功能。E17/E18顯示與接口模塊不是一個獨(dú)立的設(shè)備,需 集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。 型號 | E17.i1 | E17.i3 | E18.i1 | E18.i3 | 功能 | 顯示與接口模塊 | 通道數(shù) | 1 | 3 | 1 | 3 | 處理器 | 8 位單片機(jī) 16MHz | 32位 單片機(jī) 168MHz | 線性度 | 0.01% | D/A 轉(zhuǎn)換器 | 16 Bit ±10V | 24 Bit ±10V | 16 Bit ±10V | 24 Bit ±10V | 輸出分辨率 | 滿量程 1/30000 | 滿量程 1/100000 | 滿量程 1/30000 | 滿量程 1/100000 | A/D 轉(zhuǎn)換器 | 16 Bit ±10V | 薄膜鍵盤 | 15 按鍵 | 計算機(jī)接口 | RS-232、USB | RS-232/422、USB | 輸出波形頻率(Hz) | 1k | 10k | LCD 液晶屏 | 漢字顯示 | I/O 口 | 1 ~ 3 個用戶可設(shè)置為輸入或輸出方式,MDR14 連接器 | 液晶鍵盤控制功能 | 輸出與測量電壓和位移、自發(fā)波形、選擇功能、設(shè)定參數(shù) | 液晶鍵盤自發(fā)波形 | 正弦波、方波、三角波、鋸齒波 | 上位機(jī)軟件控制功能 | 輸出與測量電壓和位移、波形控制、選擇功能、設(shè)定參數(shù) | 上位機(jī)軟件波形控制 | 可編程波形輸出,標(biāo)準(zhǔn)波形輸出 | 二次開發(fā) | VC++、Matlab、LabView 使用例程和 DLL 動態(tài)鏈接庫函數(shù)等,方便二次開發(fā) | 工作溫度范圍(℃) | 0 至 50 |
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