P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，產(chǎn)品較高的偏轉(zhuǎn)精度和高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇。 P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。 P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格 特性 • ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動及Z向100μm直線運動 • 閉環(huán)定位精度高 • 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應(yīng)速度快 閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負載曲線 | 仿真分析 | P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達100μm。 P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元分析進行優(yōu)化，具有高的剛度以及導(dǎo)向精度。 可選擇內(nèi)置精密傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有高的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。 | 
| 通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計運動方向上的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許高精度的運動，因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。 
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超薄的設(shè)計適用于顯微應(yīng)用且可負載大鏡片 | 產(chǎn)品測試 | | P51壓電偏轉(zhuǎn)臺中心通光孔達80×80mm，適用于需要透射光的應(yīng)用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。 P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應(yīng)用設(shè)計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，易于集成到高精度顯微鏡中。 | 
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| 校準調(diào)測 | 震動實驗 |
驅(qū)動方式 P51壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，并配合Z軸升降運動，再通過控制電壓的大小，對于固定的光路距離，可進行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。 
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