本次給大家介紹一款電動壓電螺釘調平臺——ZT50N81K8，它是專為三軸調平而設計，具有三個直線促動點，通過二維θx、θy 偏轉和 Z 向升降運動可對載物臺進行調節(jié)，其主要的特點就是定位精度高，承載能力強，電動操作更便捷，因其高精度、可控性強、實用性高，因而廣泛應用于科研、激光應用、工業(yè)自動化等領域。
ZT50N81K8壓電螺釘調平臺臺面直徑160mm，直線行程可達3mm，θx、θy 偏轉角度為±1.5°，角分辨率可達0.3μrad，承載可達2kg，具有出色的長期穩(wěn)定性，且能在斷電情況下繼續(xù)保持在設定位置，斷電自鎖。實物外觀如下圖所示。
產品特點
產品應用
技術參數
半導體領域調平 ZT50N81K8以其高精度、大行程及多維運動，使其非常適用于半導體領域的調平，例如晶圓調平等。
配套控制器 芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅動ZT50N81K8，采用24VDC供電，4通道版本可使用切換方式驅動4支壓電螺釘，采用數字信號控制，與壓電螺釘間可通過網口連接，且體積小、易集成。
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