壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點
Z 向運動
大行程范圍
承載達 0.5kg
可選配閉環(huán)傳感器
位移與電壓曲線
線性度曲線
產(chǎn)品應(yīng)用
聚焦顯微
激光加工
Z 向定位與掃描
表面結(jié)構(gòu)分析
型號
XD730.400S-B1
XD730.400K-B1
單位
運動方向
Z
標稱行程范圍(0~120V)
400
μm±10%
行程范圍(0~150V)
500
傳感器類型
SGS
-
分辨率
14
4
nm
閉環(huán)線性度
0.2
%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.05
空載諧振頻率
150
Hz±20%
靜電容量
28.8
μF±10%
承載能力
0.5
kg
重量
520
g±5%
臺體材料
鋁、鋼
注:以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
17051647888
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