N11系列直線壓電馬達采用粘滑原理,將 PZT 壓電陶瓷的微運動轉換為毫米級長行程。它的體積非常小巧,僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達 3.6mm,非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調整應用。
產品特點
行程可達 3.6mm
一至三維可選
體積小、重量輕
速度可達 2mm/s
斷電自鎖
產品應用
超分辨成像樣品移動
微納裝備及制造
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
納米聚焦與掃描
集成電路制造與檢測
顯微及納米 CT
大范圍電子束直寫(EBL)
高真空樣品精度對準及調姿
N11系列直線壓電馬達
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