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N59.30K壓電馬達是利用超聲諧振驅(qū)動原理，通過PZT壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，產(chǎn)生超聲波頻率的機械振動，再通過摩擦驅(qū)動的結(jié)構(gòu)設(shè)計，使其產(chǎn)生直線運動。由于超聲波的頻率超出了人的聽覺范圍，所以超聲壓電馬達區(qū)別于粘滑原理的壓電馬達噪聲會更小。在結(jié)構(gòu)設(shè)計上，超聲壓電馬達的體積會更為小巧，可達cm級行程，納米級精度，且響應(yīng)速度快，可斷電自鎖等特點。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

一維X向運動

行程達30mm或±15mm

速度達 25mm/s

分辨率達50nm

負載能力達0.2kg

斷電自鎖

真空版、閉環(huán)版本可選

可組多維版本

產(chǎn)品應(yīng)用

光學(xué)儀器

精密儀器

醫(yī)療器械

微劑量注射器

科學(xué)研究

光纖對接

微細加工

原子力顯微鏡

半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等

小負載、大行程納米定位

技術(shù)參數(shù)

型號	N59.30K
運動自由度	X
標(biāo)稱行程范圍	30mm或±15mm
速度上限	25mm/s
分辨率	50nm
負載能力	0.2kg
工作溫度	0~50℃
材質(zhì)	鋁，不銹鋼
重量	15g（不含線及連接器）
電纜長度	1.5m

配套控制器

E66.A2K-H板卡式壓電控制器可控制N59.30K超聲壓電馬達，單通道開環(huán)驅(qū)動，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號控制，操作更便捷，小體積設(shè)計更易集成。

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