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P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達毫米！

更新時間： 2024-11-04
P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點的一維Z向運動壓電平臺。它的內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，配合無摩擦柔性鉸鏈機構(gòu)，利用機構(gòu)放大的驅(qū)動形式，實現(xiàn)大行程精密定位運動，行程可高達1mm。它的負載可達1.5kg，在行程大的同時兼具了大負載的特點。該產(chǎn)品可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。可廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。產(chǎn)品外觀如下圖所示。



圖片

產(chǎn)品特點

Z向位移1000μm
承載1.5kg
毫秒級響應(yīng)時間
閉環(huán)重復(fù)定位精度高
可選閉環(huán)傳感器
真空版本可選

產(chǎn)品應(yīng)用

光學(xué)測量
光學(xué)檢測
顯微掃描
激光干涉
生物科技
納米操控技術(shù)
納米光刻
納米測量

技術(shù)參數(shù)


型號
P60.Z1000S/K-C
運動方向
Z
驅(qū)動控制
1路傳感/1路驅(qū)動
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
800µm
Max.行程范圍（0~150V）
1000µm
傳感器類型
SGS/-
分辨率
35nm/10nm
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.1%F.S./-
空載諧振頻率
80Hz
承載能力
水平安裝
1.5kg
立式安裝
0.02kg
倒置安裝
0.05kg
靜電容量
72μF
材質(zhì)
鈦、鋁
重量
＜1.3kg



配套控制器

E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應(yīng)用要求而設(shè)計的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機身帶有散熱區(qū)域，可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，上位機軟件支持二次開發(fā)，體積小巧，易于集成。

圖片



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