產(chǎn)品名稱:P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad
產(chǎn)品型號:P22
產(chǎn)品特點(diǎn):P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計,外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動,補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期:2021-03-23
P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad
P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。
P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad
特性
• θx一維偏轉(zhuǎn),zui大偏轉(zhuǎn)角度4mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高
• 外形超薄 • 亞毫秒響應(yīng)時間
運(yùn)動方式 | 頻率負(fù)載曲線 | 閉環(huán)曲線 |
閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。 |
維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad
小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選 | 結(jié)構(gòu)原理 | ||
壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(快反鏡/傾斜鏡,光束偏轉(zhuǎn),相移器)提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬,θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 4mrad,偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad,開環(huán)閉環(huán)可選,閉環(huán)傳感器包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器,可獲得更高的定位精度。 超小體積設(shè)計,具有非常快的響應(yīng)速度,可帶載Ø15mm的鏡片實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時間。 | 平臺由一個鉸鏈支撐,并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點(diǎn),兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設(shè)計的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高等。 如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大,推薦使用差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。 |
應(yīng)用 | 產(chǎn)品測試 |
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• 圖像處理/穩(wěn)定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信 • 光過濾/轉(zhuǎn)換 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡
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