產(chǎn)品名稱:P36芯明天壓電移相器
產(chǎn)品型號(hào):θx, θy, Z軸
產(chǎn)品特點(diǎn):P36芯明天壓電移相器 壓電移相器壓電偏轉(zhuǎn)鏡系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器為θx,θy偏轉(zhuǎn)/俯仰及Z軸升降臺(tái),臺(tái)體中心通孔,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可以實(shí)現(xiàn)的偏轉(zhuǎn)范圍為0.8mrad, Z軸直線運(yùn)動(dòng)行程為12μm,產(chǎn)品為開環(huán)版本,具有*的分辨率及響應(yīng)速度,是干涉掃描移相的。
更新日期:2021-03-23
P36芯明天壓電移相器
壓電移相器壓電偏轉(zhuǎn)鏡系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器為θx,θy偏轉(zhuǎn)/俯仰及Z軸升降臺(tái),臺(tái)體中心通孔,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可以實(shí)現(xiàn)的偏轉(zhuǎn)范圍為0.8mrad, Z軸直線運(yùn)動(dòng)行程為12μm,產(chǎn)品為開環(huán)版本,具有*的分辨率及響應(yīng)速度,是干涉掃描移相的。
P36芯明天壓電移相器特性
• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)及Z向升降運(yùn)動(dòng),zui大偏轉(zhuǎn)角度0.8mrad,zui大直線位移8μm
• 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
開環(huán)、高動(dòng)態(tài)性、中心通孔 | 頻率負(fù)載曲線 | 驅(qū)動(dòng)控制 |
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器為多軸俯仰升降臺(tái),產(chǎn)品體積為Ø20×19.5mm,可以實(shí)現(xiàn)θx, θy軸0.8mrad的偏轉(zhuǎn),Z軸12μm的升降,開環(huán)版本具有超高的分辨率及超快的響應(yīng)速度,三角架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有超寬的使用溫度范圍。 臺(tái)體中心帶有通孔孔徑為Ø10mm,適用于需要透光的應(yīng)用,如光過濾等。 P36系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器有兩個(gè)版本可選,開環(huán)Z向平臺(tái)或開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(tái),Z向升降平臺(tái)提供頂部環(huán)在垂直方向的定位(活塞運(yùn)動(dòng)),Z向升降/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位臺(tái)可實(shí)現(xiàn)垂直(活塞運(yùn)動(dòng))定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。 | P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器內(nèi)部三支壓電陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接,提供頂部環(huán)在垂直方向的定位(活塞運(yùn)動(dòng))時(shí),只需一個(gè)驅(qū)動(dòng)通道。 提供Z向升降/俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí),需三個(gè)驅(qū)動(dòng)通道。
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壓電移相器壓電偏轉(zhuǎn)鏡
運(yùn)動(dòng)方式 | 可配套鏡片轉(zhuǎn)接座 | |
| P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座方便鏡片的安裝與固定。
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應(yīng)用 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 干涉法 • 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn) • 激光調(diào)諧 • 光過濾/開關(guān) • 光束穩(wěn)定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動(dòng) • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信 • 光學(xué)濾波器/開關(guān) • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像 • 干涉
產(chǎn)品測試 |
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型號(hào) | 尾綴K-開環(huán) | P36.Z1K | P36.ZT1K | 單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | θx,θy,Z |
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運(yùn)動(dòng)和定位 | ||||
θx, θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度(0~+120V) | - | 0.55 | mrad±20% | |
Z向直線標(biāo)稱行程(0~+120V) | 8 | 8 | µm±20% | |
θx, θyzui大偏轉(zhuǎn)角度(-20~+150V) | - | 0.8 | mrad±20% | |
Z向直線zui大行程(-20~+150V) | 12 | 12 | µm±20% | |
θx,θy偏轉(zhuǎn)分辨率 | - | 0.02 | µrad | |
Z向直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm | |
機(jī)械性能 | ||||
空載諧振頻率 | 7.5 | θx3.2/θy3.5/Z7.5 | kHz±20% | |
空載階躍時(shí)間 | 0.5 | 0.5 | ms±20% | |
空載工作頻率* | 10%行程 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
行程 | 200 | 150 | ||
驅(qū)動(dòng)性能 | ||||
靜電容量 | 0.5 | 0.5 | μF/軸±20% | |
其他 | ||||
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | |
材質(zhì) | 鋼 | 鋼 |
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外形尺寸(外徑-內(nèi)徑/高) | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm | |
重量 | 50 | 80 | g±5% | |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
電壓連接器*** | LEMO | LEMO |
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