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P77.D7 系列壓電移相器是專為光學(xué)檢測移相應(yīng)用而設(shè)計的，中心通孔直徑為65mm，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn)Z軸50μm的位移行程，負(fù)載可達(dá)2kg，無摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，非常適于鏡頭的光學(xué)檢測等應(yīng)用。

P77.D7的設(shè)計是基于光學(xué)干涉原理對參考鏡片的步進(jìn)精度及速度要求，既要毫秒甚至亞毫秒的快速響應(yīng)，又要達(dá)到幾納米的步進(jìn)精度，這也是P77.D7可作為光學(xué)移相的主要原因。另外P77系列可進(jìn)行產(chǎn)品定制，可定制外形尺寸、中孔尺寸、位移、出力及承載能力等，可針對從小口徑到大孔徑的移相要求，目前標(biāo)準(zhǔn)品中定制的大口徑可達(dá)265mm，而小口徑的僅30mm，*取決于客戶應(yīng)用要求。

P77.D7系列產(chǎn)品特點：一維Z向運動、 行程可達(dá)50μm、 承載可達(dá)2kg、通孔直徑：65mm。

P77.D7系列產(chǎn)品應(yīng)用： 顯微成像、 表面檢測、干涉/測量、精密定位、 移相器、光學(xué)捕獲等。

設(shè)計原理

P77-D7系列壓電移相器采用直驅(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計原理，可以實現(xiàn)50μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng)時間。

10V步進(jìn)曲線

開環(huán)位移曲線

P77-D7為壓電陶瓷驅(qū)動，而壓電陶瓷具有遲滯與蠕變特性，產(chǎn)生的位移與驅(qū)動電壓成基本的線性關(guān)系，但在動態(tài)快速步進(jìn)中，將不受遲滯與蠕變的影響。

參數(shù)表

P77-D7尺寸圖

推薦配套P77.D7控制器

E01.C1： 1路輸出；上位機(jī)、模擬、旋鈕控制； 開環(huán)； 平均電流291mA。

E53.A： 1路輸出；模擬控制；開環(huán)；平均電流60mA。