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產品名稱:P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm

產品型號:

產品報價:

產品特點:P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
P66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅式驅動機構的壓電位移平臺,是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統(tǒng),可達毫秒級響應、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。該產品非常適于定位應用,如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等。

更新日期:2021-09-08

P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm的詳細資料:


特性 P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm

應用

• 光盤驅動測試  開閉環(huán)版本可選

傳感器使用全橋配置已消除熱漂移,使得該系列納米定位臺可以實現(xiàn)較高的線性度與重復度。


 P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm


型號

尾綴S-閉環(huán)

尾綴K-開環(huán)

P66.X60S

P66.X60K

單位

運動自由度

X

X


行程(0~120V)

48

48

μm±20%

行程(0~150V)

48

48

μm±20%

傳感器類型

SGS

-


閉/開環(huán)分辨率

2

0.8

nm

閉環(huán)線性度

0.1

-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<20

<20

µrad

推/拉力

160/16

160/16

N

運動方向剛度

2.8

2.8

N/μm±20%

空載諧振頻率

1.3

1.3

kHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10

1.6

ms±20%

閉環(huán)空載

工作頻率

10%行程

200

200

Hz±20%

行程

20

20

大承載

6

6

kg

靜電容量

7.2

7.2

μF±20%

材質


重量

190

190

g±5%

哈爾濱芯明天科技有限公司是專注于壓電納米運動與控制系統(tǒng)的研發(fā)、生產和銷售的高新技術企業(yè),提供基于壓電陶瓷微位移技術的微米級行程、納米級定位精度的直線運動產品,毫弧度級偏轉角度、納弧度級偏轉精度的角度運動產品與配套運動控制產品以及相關解決方案,是中國壓電納米定位行業(yè)開發(fā)、創(chuàng)新、開拓的先鋒。


芯明天公司主要服務于精密制造、檢測設備的生產制造企業(yè)以及實驗、科研型的高校院所。經過近20年的快速發(fā)展,芯明天的客戶已覆蓋全國各地,并遠銷歐、美、日、韓等地。公司與眾多國內外高科技企業(yè)、國家重點實驗室建立了合作伙伴關系,已經成為化的壓電精密定位產品生產廠商。



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