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產(chǎn)品名稱:XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格
XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點,可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

更新日期:2021-09-08

XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格的詳細(xì)資料:

XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點,可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。


特性 XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格

• 位移60μm                   • 亞毫秒響應(yīng)時間                   • 承載5kg                   • 1~3維自由組合                   • 重復(fù)定位精度可達0.05%F.S.

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1~3維平移臺

產(chǎn)品外觀

直驅(qū)機構(gòu)式驅(qū)動示意圖

XP-63X系列壓電納米定位臺可通過轉(zhuǎn)接板連接, 組成XY,XZ,XYZ多種運動結(jié)構(gòu)。

多種規(guī)格型號可選。

柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。


小體積、高精度、響應(yīng)速度快


傳感器類型

頻率負(fù)載曲線


XP-63X系列壓電納米定位臺結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有大機械剛度、大承載、高的空載諧振頻率等特點。負(fù)載情況下也具有高的使用頻率,響應(yīng)時間可 以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負(fù)載,響應(yīng)時間僅為5ms。

XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設(shè)備集成。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器,可實時檢測位置信號 并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正,從而實現(xiàn)納米級的精密定位。



應(yīng)用

• 半導(dǎo)體技術(shù)     • 納米壓印     • 納米計量     •微操控       • 納米光刻     •干涉法/ 掃描顯微/納米定位     •生物技術(shù)     •質(zhì)量保證測試     •微加工/精密控制


應(yīng)用實例:宏微復(fù)合機構(gòu)

采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的精確力控制實驗。


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